Filter排列機/ TAPPING machine machine

1. 設備介紹
本產品是把良品IR Filter單獨排序設備。用原版檢查設備檢查IR Filter下部（Sensor面）後， 轉到Tapping M/C後檢查上下面及良品排序設備。

2. UPH : 2,769
依據產品與設備實際規格而有差異

3.特徵
•與原版檢查設備， 下面（sensor面）檢查結果互換，因為是Filter 上面(Lens面) 檢查後工序，所以無需 Wafer反轉作業
•單獨 stage構成,可排序不良Filter
   -再檢查後轉換良品使用
   -分析不良 Filter改善工序，提高作業率
•7.0um의檢出率 (檢出率=3*Pixel)